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陶瓷/石墨/金属
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LAM AND TEL 石英/Vespel/Teflon
璟凌电子的陶瓷/石墨/金属的相关备件产品主要来自 国内/日本/韩国等合作伙伴的生产工厂. 部分产品在先进/绍兴中芯/SMIC等FAB厂长期供应中.
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